9月28日消息 據臺媒 DigiTimes 報道，臺積電加速先進制程推進，近期擴大釋單，累計 EUV 機臺至 2021 年底將超過 50 臺。

報道指出，相較之下，三星電子(Samsung Electronics)2021 年還不到 25 臺，同時 EUV POD(光罩傳送盒)采購量遠低于預期。

IT之家了解到，臺積電 8 月舉行了年度技術研討會，透露了其在尖端制造實力方面的情況。臺積電占據了業(yè)界 EUV(極紫外光)設備安裝量的 50%。此外，臺積電還擁有約 60% 的 EUV 晶圓累計產量。

臺媒：臺積電 EUV 光刻機采購破 50 臺，遠超三星

ASML 是唯一一家生產和銷售 EUV 光刻設備的公司。按照 Cutress 此前估計，臺積電已經從 ASML 購買了 30-35 臺設備。據此估算，ASML 已售出約 70 臺機器，到 2020 年底可能會賣到 90 臺。

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